UHV Gate Valve
自动型
动作展示（手动型）
| 特征 | ・通过陶瓷球机构实现低颗粒 ・更换维修套件即可轻松维护 |
| 动作 | 手动式/气动式 |
| 法兰尺寸 | 1.5"～12" (ICF70 ～ ICF356) |
| 法兰类型 | CF (ICF) |
| 贯穿件 | 焊接波纹管 (AM350 or SUS316L) |
| 浇口部 密封 | FKM / Kalrez / EPDM O型圈可更换为其他材质 |
| 阀盖部密封件 | 銅垫片 |
| 关闭时间（响应时间） | ≤ 2sec |
| 圧力范围 | 1.5"～6":1x10-10 mbar to 1400 bar 8"～12":1x10-10 mbar to 1200 bar |
| 打开阀门时的压差 | ≤ 30 mbar |
| 泄漏率 | ≺ 1x10-10 mbar L/ sec |
| 生命周期 | 200,000 回 |
| 阀本体 使用温度 | ≤ 250℃ |
| 执行器 使用温度 | ≤ 150℃ |
| 位置指示器使用温度 | ～ 150℃ |
| 烘烤温度 | ≤ 200℃ |
| 材质 | 本体 (SUS304 or SUS316L) 执行器 (AL6061 阳极氧化) |
| 安装位置 | 均可 |
| 气压范围 (N2) | 4～7 bar |
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CF 规格 手动式
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