视窗介绍
真空视窗主要是
・从大气侧的腔室内过程观察窗口
・从大气侧进入腔室的激光等光束照射
（光学材料）等
主要窗户材料
- 光学玻璃(Kodial)
・蓝宝石（Sapphire）
・从大气侧的腔室内过程观察窗口
・从大气侧进入腔室的激光等光束照射
（光学材料）等
主要窗户材料
- 光学玻璃(Kodial)
・蓝宝石（Sapphire）
・熔融石英等(Fused Silica)
（对于“熔融石英”，请参阅透射率图旁边的说明栏）
（对于“熔融石英”，请参阅透射率图旁边的说明栏）
视窗使用例
光学玻璃 (Kodial) 透过率曲线图
蓝宝石透过率曲线图
溶融石英 (Fused Silica) 透过率曲线图
什么是熔融石英
熔融石英又称熔融二氧化硅、二氧化硅玻璃。
由具有高SiO2纯度的石英（SiO2）制成，
它是通过将结晶粉末熔化成玻璃状状态而制成的，具有物理性质各向同性的材料，具有以下优点/用途：
优势
・抗热冲击稳定性
・热膨胀系数低
• 激光损伤阈值高
・在UV（紫外线）至IR（红外线）范围内具有出色的透射特性
主要用途
・烧杯、烧瓶等物理化学应用
・观察窗材料
・透镜/反射镜基板
・光纤材料等
View Port Series
Kodial 视窗 Technical Data.
UHV | HV | |
| 视窗包装材 | 金属 skirt | 金属skirt 或者O型圈seal |
| 视窗组装材 | 无氧铜垫片 | O型圈 |
| 圧力范围 | 760 Torr ~ 1x10-10 Torr 1,000mbar ~ 1.33x10-10mbar 100 kPa ~1.13x10-11kPa | 760 Torr ~ 1x10-8 Torr 1,000mbar ~ 1.33x10-8mbar 100 kPa ~1.13x10-9kPa |
| 泄漏率 | 1x10-10Tor l/s, He 1.33x10-10mbar l/s, He 1.13x10-11kPa l/s, He | 1x10-9Tor l/s, He 1.33x10-9mbar l/s, He 1.13x10-10kPa l/s, He |
| 承受温度 | -20℃ ～ 350℃ | -20℃ ～ 200℃ |
| 烘烤温度 | 300℃ | 150℃ |
| 每分钟内的最大温度変化 | 3℃ | 3℃ |
| 主要法兰材 | SUS304L | SUS304L |
Sapphire および Fused Silica ビューポート Technical Data.
Sapphire 和 Fused Silica 视窗 Technical Data.
Sapphire | Fused Silica | |
| 视窗包装材 | 金属skirt | 金属skirt |
| 视窗安装材 | 无氧铜垫片 | 无氧铜垫片 |
| 圧力范围 | 760 Torr ~ 1x10-10 Torr 1,000mbar ~ 1.33x10-10mbar 100 kPa ~1.13x10-9kPa | 760 Torr ~ 1x10-10 Torr 1,000mbar ~ 1.33x10-10mbar 100 kPa ~1.13x10-9kPa |
| 泄漏率 | 1x10-10Tor l/s, He 1.33x10-10mbar l/s, He 1.13x10-9kPa l/s, He | 1x10-10Tor l/s, He 1.33x10-10mbar l/s, He 1.13x10-9kPa l/s, He |
| 承受温度 | -20℃ ～ 200℃ | -20℃ ～ 200℃ |
| 烘烤温度 | 150℃ | 150℃ |
| 每分钟最大温度変化 | 3℃ | 3℃ |
| 主要的法兰材 | SUS304L | SUS304L |
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