X-Y轴移动平台

X-Y移动平台是在X轴（左右）和Y轴（垂直）方向上移动的定位的移动平台。

主要特点是：
・用于使用最普遍的法兰尺寸ICF70 或 ICF114 设计和安装都很便利。
・可以在超高真空范围内使用。
・±5 mm 的行程可实现精准定位。