Transfer Valve (I-Motion)
矩形闸阀 （I-Motion）
动作演示
| 特征 | ・用于晶圆制造过程中的运输 ・轻巧型设计 ・更换维修套件，即刻轻松维护 |
| 动作 | 气动式 |
| 法兰尺寸 (ID) mm | 32 x 232 46 x 236 50 x 336 56 x 500 |
| 贯穿件 | 焊接波纹管 |
| 浇口部密封件 | FKM / Kalrez / EPDM 等 O型圈材质可变更 |
| 阀盖部密封件 | FKM / Kalrez / EPDM 等 O型圈材质可变更 |
| 响应时间 | ≤ 2 sec |
| 圧力范围 | 1 x 10-10 mbar to 1200 mbar |
| 打开阀门时的压差 | ≤ 30 mbar |
| 可施加在浇口的压差 | ≤ 1200 mbar |
| 泄漏率 | SUS: ＜ 1 x 10-9 mbar L/sec AL: ＜ 1 x 10-9 mbar L/sec |
| 生命周期 | ≥ 1,000,000 回 |
| 阀体 使用温度 | ≤ 200℃ |
| 执行器使用温度 | ≤ 80℃ |
| 烘烤温度 | ≤ 200℃ |
| 材质 | SUS304 Al6061阳极氧化 |
| 安装方向 | 自由 |
| 气压范围(N2) | 4～7 bar |
Transfer Valve (I-Motion) 尺寸& 图面
详细尺寸（图面）准备中，
如有需要请另外与我们联络。
欢迎咨询
TEL.
0334562577
