气体扩散器
气体扩散器是指当负载锁定室（Load-lock Chamber）开放在大气中时，可防止晶圆和其他材料受到污染，从而减少排气周期时间并提高系统吞吐量的一种扩散器。
・元件部分SUS316L
・可用于高温应用。
・体积小，耐受冲击和振动的高可靠性
・可用于高温应用。
・体积小，耐受冲击和振动的高可靠性
气体扩散器概述
- 宽范围的流量，从6到300 SLPM。
- 适用于高纯度半导体气体。
- 通过3纳米粒子过滤功能，最大限度地减少压降，同时保持高流量效率。
- 通过5Ra电解抛光表面防止内部污染。
- 为符合半导体工艺标准，在DI水清洗后采用高温氮气烘烤处理。
- 进行全数100%氦气泄漏测试。
产品规格
产品规格：
- 除去评价：≧ 0.0025μm
- 保持力：99.9999999%以上，除去所有0.0025μm及以上的颗粒
- 额定流量 @109 ：70SLPM（A50）
60SLPM（B40）
80SLPM（B70）
90SLPM（B74）
300SLPM（C80）
100SLPM（NW25X8VM）
- 材质：过滤器元件 SUS316L
外壳 SUS316L / SUS316L VAR
- 元件的工作条件：
最大入口压力 1MPa
最大工作温度 460℃
- 内部表面处理：≦Ra 10μin (BA) / ≦Ra 5 μin (EP）
材质，安装形状，和尺寸等详细数据请参考此处链接こちら
