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质量分析计PrismaPro

普发真空社 质量分析计

四重极型质量分析计(QMS)是一种分圧真空计,是评估真空系统内残留气体组成的最典型的测量仪器之一,也被称为残留气体分析计。

其主要特点包括:
- 实现了高速测量和宽动态范围的顶级基本性能
- 可根据应用选择测量质量范围、离子源形成、丝材质、I/O选项等构成
- 高功能的测量和分析软件“PV MassSpec”作为标准配备
- 开放式API,可开发专有软件以支持LaVIEW
- 结合普发真空公司引以为傲的全球服务,可在全球超过60个地点提供服务。

QMG250 PrismaPro® 四极质谱残留气体分析计

画像为QMG250 PrismaPro®
顶级的基本性能:
- 最小1ms/point的高速性能。通过以太网将测量值平稳地传输到PC。
- 通过偏置离子化室的设计实现了低背景噪声和宽动态范围,最小检测分压为3 x 10-13Pa,采用了更高的灵敏度技术。

多种选择模式:
- 采用自由组合的模块化设计,可根据应用程序和测量对象选择不同的单位,例如离子源形成、丝材质和测量质量范围等。因此特别适用于工业、环境分析、研究开发、半导体生产、涂覆等领域。
- 通过与作为真空相关设备的综合制造商的FIPA Vacuum公司的多样化产品组合,扩大适用应用范围。

最新一代软件PV MassSpec:
- PrismaPro®附带了最新一代的PV MassSpec软件(兼容Windows 10®),其操作轻便且易于操作,同时可用作计算、分析和导出测量数据的平台。
- 可选择多种测量方法,包括质量扫描测量、电流趋势测量、分压趋势测量、定量趋势测量及其组合,并且可使用自由数学公式进行实时计算和记录。

开放式的编程接口:
- 使用基于HTML的免费开放式编程接口(JSON API)可以直接控制PrismaPro。此外,通过广泛的接口,如数字和模拟输入/输出、以太网等,可以轻松集成到系统中。此外,还提供了免费的LaView驱动程序。
此处添加日文版目录此处谨供参考 。 

技术数据

规格/机种
OMG250    F1
OMG250    F2
OMG250   F3
OMG250  M1
OMG250     M2
OMG250    M3
Detector
(探测器)
法拉第常数 (F)
C-SEM / 法拉第常数 (M)
质量范围
(amu)
1~100
1~200
1~300
1~100
1~200
1~300
rod棒杆系统 (直径/ 长度)
6mm / 125mm
最小检测限度
法拉第

(Pa)
4 x10-11
5 x10-11
7 x10-11



最小检测限度 C-SEM
3 x10-13
4 x10-13
5 x10-13
Ar感度、
法拉第
5 x 10-2Pa 
最大許容圧力C-SEM
5 x10-3
5x10-3
5 x10-3
间接质量峰值的传送
  (40/41)
<10ppm
<20ppm
<50ppm
<10ppm
<20ppm
<50ppm

技术规格

- 动作温度、分析范围:200℃ (SEM操作时最大150℃)
- 操作温度、电子控制部分:5~50℃
- 烘烤温度、分析范围:300℃
- 连接法兰:DN40-CF-F
- 分辨率(10%峰长):0.5~2.5amu
- 停留时间:1ms~16s/amu
- 峰比的再现性:±0.5%
- 接口:以太网(EtherNet)
- 供电电压:100~240V AC, 50/60Hz

欢迎咨询

TEL. 03-3456-2577
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