普发真空社 质量分析计
四重极型质量分析计(QMS)是一种分圧真空计,是评估真空系统内残留气体组成的最典型的测量仪器之一,也被称为残留气体分析计。
其主要特点包括:
- 实现了高速测量和宽动态范围的顶级基本性能
- 可根据应用选择测量质量范围、离子源形成、丝材质、I/O选项等构成
- 高功能的测量和分析软件“PV MassSpec”作为标准配备
- 开放式API,可开发专有软件以支持LaVIEW
- 结合普发真空公司引以为傲的全球服务,可在全球超过60个地点提供服务。
QMG250 PrismaPro® 四极质谱残留气体分析计
顶级的基本性能:
- 最小1ms/point的高速性能。通过以太网将测量值平稳地传输到PC。
- 通过偏置离子化室的设计实现了低背景噪声和宽动态范围,最小检测分压为3 x 10-13Pa,采用了更高的灵敏度技术。
多种选择模式:
- 采用自由组合的模块化设计,可根据应用程序和测量对象选择不同的单位,例如离子源形成、丝材质和测量质量范围等。因此特别适用于工业、环境分析、研究开发、半导体生产、涂覆等领域。
- 通过与作为真空相关设备的综合制造商的FIPA Vacuum公司的多样化产品组合,扩大适用应用范围。
最新一代软件PV MassSpec:
- PrismaPro®附带了最新一代的PV MassSpec软件(兼容Windows 10®),其操作轻便且易于操作,同时可用作计算、分析和导出测量数据的平台。
- 可选择多种测量方法,包括质量扫描测量、电流趋势测量、分压趋势测量、定量趋势测量及其组合,并且可使用自由数学公式进行实时计算和记录。
开放式的编程接口:
- 使用基于HTML的免费开放式编程接口(JSON API)可以直接控制PrismaPro。此外,通过广泛的接口,如数字和模拟输入/输出、以太网等,可以轻松集成到系统中。此外,还提供了免费的LaView驱动程序。
此处添加日文版目录此处谨供参考 。
- 最小1ms/point的高速性能。通过以太网将测量值平稳地传输到PC。
- 通过偏置离子化室的设计实现了低背景噪声和宽动态范围,最小检测分压为3 x 10-13Pa,采用了更高的灵敏度技术。
多种选择模式:
- 采用自由组合的模块化设计,可根据应用程序和测量对象选择不同的单位,例如离子源形成、丝材质和测量质量范围等。因此特别适用于工业、环境分析、研究开发、半导体生产、涂覆等领域。
- 通过与作为真空相关设备的综合制造商的FIPA Vacuum公司的多样化产品组合,扩大适用应用范围。
最新一代软件PV MassSpec:
- PrismaPro®附带了最新一代的PV MassSpec软件(兼容Windows 10®),其操作轻便且易于操作,同时可用作计算、分析和导出测量数据的平台。
- 可选择多种测量方法,包括质量扫描测量、电流趋势测量、分压趋势测量、定量趋势测量及其组合,并且可使用自由数学公式进行实时计算和记录。
开放式的编程接口:
- 使用基于HTML的免费开放式编程接口(JSON API)可以直接控制PrismaPro。此外,通过广泛的接口,如数字和模拟输入/输出、以太网等,可以轻松集成到系统中。此外,还提供了免费的LaView驱动程序。
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技术数据
规格/机种 | OMG250 F1 | OMG250 F2 | OMG250 F3 | OMG250 M1 | OMG250 M2 | OMG250 M3 |
Detector (探测器) | 法拉第常数 (F) | C-SEM / 法拉第常数 (M) | ||||
质量范围 (amu) | 1~100 | 1~200 | 1~300 | 1~100 | 1~200 | 1~300 |
rod棒杆系统 (直径/ 长度) | 6mm / 125mm | |||||
最小检测限度 法拉第 (Pa) | 4 x10-11 | 5 x10-11 | 7 x10-11 | |||
最小检测限度 C-SEM | ー | ー | ー | 3 x10-13 | 4 x10-13 | 5 x10-13 |
Ar感度、 法拉第 | 5 x 10-2Pa | |||||
最大許容圧力C-SEM | ー | ー | ー | 5 x10-3 | 5x10-3 | 5 x10-3 |
间接质量峰值的传送 (40/41) | <10ppm | <20ppm | <50ppm | <10ppm | <20ppm | <50ppm |
技术规格
- 动作温度、分析范围:200℃ (SEM操作时最大150℃)
- 操作温度、电子控制部分:5~50℃
- 烘烤温度、分析范围:300℃
- 连接法兰:DN40-CF-F
- 分辨率(10%峰长):0.5~2.5amu
- 停留时间:1ms~16s/amu
- 峰比的再现性:±0.5%
- 接口:以太网(EtherNet)
- 供电电压:100~240V AC, 50/60Hz
- 操作温度、电子控制部分:5~50℃
- 烘烤温度、分析范围:300℃
- 连接法兰:DN40-CF-F
- 分辨率(10%峰长):0.5~2.5amu
- 停留时间:1ms~16s/amu
- 峰比的再现性:±0.5%
- 接口:以太网(EtherNet)
- 供电电压:100~240V AC, 50/60Hz
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TEL.
03-3456-2577