质量流量控制器通过电信号自动控制气体的流量控制。

由于流速是通过测量流体质量来控制的，因此无需校正因环境温度或工作压力产生的变化

主要应用在需要高精度流量测量和控制的制造过程。

・半导体制造

・燃料电池

・有机EL

・分析装置

・试验设备 等领域广泛应用。