关于小型单元溅射装置
装置规格
为提升性能,规格可能在无预告的情况下变更
构成 | 主要规格 |
真空腔体及排气系统 | 腔体:φ200x400mm SUS304 主泵:700 L /s 涡轮分子泵 极限真空度:5x10-5Pa 真空计:皮拉尼真空计 & 佩宁真空计 端口:排气口 1个溅射枪(若使用1英寸溅射枪,最多可搭载3个) 基板更换用操作舱门 操作:手动 |
溅射源 | 2”溅射枪 搭配 300W 直流电源(功率可调) 或者 搭配匹配器的 300W 射频电源 |
基板台 | 支持基板尺寸:最大 φ2英寸 加热系统(选配):300℃ 或 800℃ 加热模块 |
气体导入系统 | 10 SCCM 质量流量控制器(MFC) |
※上述装置规格为一示例。
可根据您的需求进行个性化定制。
定制示例:
更改腔体尺寸
更换主泵型号
调整端口数量
更换真空计类型
更改操作方式 等