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小型单元溅射设备

关于小型单元溅射装置

小型单元溅射装置

本装置体积小巧、操作简便,但依然可实现高品质薄膜的溅射沉积,是一款性价比极高的设备。
通过丰富的可选配件,能够沉积包括金属、半导体、绝缘体以及磁性材料在内的多种材料薄膜。


【特点】

  • 装置小型且轻量,便于搬运操作,同时具备快速抽真空能力,可在短时间内完成至溅射成膜的准备过程。

  • 采用经过磁场优化设计的溅射枪,可对应磁性材料的溅射需求。

  • 设备价格低廉,占地空间小,性价比优越。

装置规格

为提升性能,规格可能在无预告的情况下变更

构成
主要规格
真空腔体及排气系统
腔体:φ200x400mm SUS304 
主泵:700 L /s 涡轮分子泵
极限真空度:5x10-5Pa
真空计:皮拉尼真空计 & 佩宁真空计 
端口:排气口
    1个溅射枪(若使用1英寸溅射枪,最多可搭载3个)
          基板更换用操作舱门
操作:手动
溅射源
2”溅射枪
搭配 300W 直流电源(功率可调)
      或者

搭配匹配器的 300W 射频电源

基板台

支持基板尺寸:最大 φ2英寸

加热系统(选配):300℃ 或 800℃ 加热模块

气体导入系统
10 SCCM 质量流量控制器(MFC)

※上述装置规格为一示例。
可根据您的需求进行个性化定制。

定制示例

  • 更改腔体尺寸

  • 更换主泵型号

  • 调整端口数量

  • 更换真空计类型

  • 更改操作方式 等

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【営業時間】平日 9:00~18:00
  • 年末年始の休業