关于 PLD(脉冲激光沉积)装置
本装置是一套为激光烧蚀系统(Laser Ablation System)而设计的基础配置,考虑到激光沉积技术应用日益广泛的趋势,强调小型、轻量、易于操作,满足多样化需求。
装置包含了靶材机构和激光光学平台。
【产品特点】
虽为小型、低成本设备,但具备出色的扩展性,可加装溅射源、分子束外延(MBE)源等模块。
采用大尺寸、专用设计的激光窗口,具备出色的抗污染能力,且易于更换。
腔体容量小,实现了短时间抽气即可进行成膜,大幅提高效率。
配备可容纳4个靶材的自转/公转机构,可进行多种材料的复合成膜。
通过序列控制器(PLC)进行配方式自动控制,实现自动化成膜流程。
激光光学平台设计紧凑,占用空间小,适合于实验室及有限空间内的安装。
装置规格
为提升性能,产品规格可能在无预告的情况下变更
项目 | 规格 | |
腔体以及排气系统 | 形状 | φ200x475 SUS304 水冷・电解抛光处理 |
激光入射窗 | ICF152 熔融石英 | |
基板/靶材端口 | ICF203 Viton密封舱盖 | |
更换端口 | 带视窗 | |
端口 | ICF203x3 ICF152x3 ICF114x4 ICF70x5 ICF34x3 | |
冷却系统 | 1/4" SUS304不锈钢水冷管 | |
真空泵与测压 | 可选项 | |
架台 | 600x925 L型槽型钢结构, 带脚轮与调节器 | |
靶材自公转机构 | 靶材容纳数 | φ20mmx5mm 4個 |
自转 | AC电机,最大20 rpm | |
公转 | 脉冲马达,支持点动操作(Jog) | |
Z动作/垂直移动 | 波纹管式上下动作,最大行程40mm | |
安装法兰 | ICF203 | |
激光架台及光学系统 | 形状 | 1500x400x1650 |
激光器安装部位 | 400x1100 | |
光学组件 | φ1" 45°与22.5°镜片与支架、 φ1" f=500镜头与支架 | |
接续固定方式 | 与腔体架台本体一体连接 | |
序列控制器(PLC)控制单元 | 形状 | 5" 触控式面板显示 |
控制功能 | 激光脉冲 快门开关 靶材选择 | |
可编程步骤数 | 20个控制步骤 |
上述为标准配置示例,支持定制化设计:
定制项示例:
腔体尺寸变更
法兰规格变更
端口数量调整
更换不同型号的泵或真空计