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PLD装置

关于 PLD(脉冲激光沉积)装置

PLD装置

本装置是一套为激光烧蚀系统(Laser Ablation System)而设计的基础配置,考虑到激光沉积技术应用日益广泛的趋势,强调小型、轻量、易于操作,满足多样化需求。
装置包含了靶材机构和激光光学平台。

【产品特点】
  • 虽为小型、低成本设备,但具备出色的扩展性,可加装溅射源、分子束外延(MBE)源等模块。

  • 采用大尺寸、专用设计的激光窗口,具备出色的抗污染能力,且易于更换。

  • 腔体容量小,实现了短时间抽气即可进行成膜,大幅提高效率。

  • 配备可容纳4个靶材的自转/公转机构,可进行多种材料的复合成膜。

  • 通过序列控制器(PLC)进行配方式自动控制,实现自动化成膜流程。

  • 激光光学平台设计紧凑,占用空间小,适合于实验室及有限空间内的安装。

装置规格

为提升性能,产品规格可能在无预告的情况下变更

                 项目                                  规格
腔体以及排气系统
形状
φ200x475 SUS304
水冷・电解抛光处理
激光入射窗
ICF152 熔融石英
基板/靶材端口
ICF203 Viton密封舱盖 
更换端口带视窗
端口
ICF203x3   ICF152x3  ICF114x4
ICF70x5     ICF34x3
冷却系统
1/4" SUS304不锈钢水冷管
真空泵与测压
可选项
架台
600x925 L型槽型钢结构,
带脚轮与调节器 
靶材自公转机构
靶材容纳数
φ20mmx5mm  4個
自转
AC电机,最大20 rpm
公转
脉冲马达,支持点动操作(Jog)
Z动作/垂直移动 
波纹管式上下动作,最大行程40mm
安装法兰
ICF203
激光架台及光学系统
形状
1500x400x1650
激光器安装部位
400x1100
光学组件
φ1" 45°与22.5°镜片与支架、                φ1" f=500镜头与支架
接续固定方式
与腔体架台本体一体连接
序列控制器(PLC)控制单元
形状
5" 触控式面板显示
控制功能
激光脉冲
快门开关
靶材选择
可编程步骤数
              20个控制步骤

上述为标准配置示例,支持定制化设计:

定制项示例:

  • 腔体尺寸变更

  • 法兰规格变更

  • 端口数量调整

  • 更换不同型号的泵或真空计

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【営業時間】平日 9:00~18:00
  • 年末年始の休業