关于飞溅喷枪图片为 2 英寸磁控溅射枪(点击图片可放大)本品使用钕磁铁作为磁体,采用全焊接及钎焊结构,是可适用于超高真空环境的溅射枪。【特点】采用钕磁铁(Neodymium Magnet)以增强磁场强度,可适用于铁磁性材料靶材。磁铁经过特殊处理并置于真空中,不会因冷却水而劣化。所有零部件及连接部分均采用焊接和钎焊结构,支持150℃烘烤,可用于超高真空环境。主要规格为提升性能,规格可能在无预告的情况下变更构成规格磁铁钕磁铁 / 镍涂层靶材尺寸φ1"、φ2"烘烤150℃冷却方式水冷(通过焊接或钎焊密封)绝缘材料氧化铝陶瓷(钎焊固定) 安装法兰ICF152 (屏蔽外径Φ70mm)冷却流水量2L / min 以上可选项射频(RF)电源:300W以上直流(DC)电源:300W以上快门:手动 / 自动