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飞溅喷枪

关于飞溅喷枪

图片为 2 英寸磁控溅射枪(点击图片可放大)

本品使用钕磁铁作为磁体,采用全焊接及钎焊结构,是可适用于超高真空环境的溅射枪。

【特点】

  • 采用钕磁铁(Neodymium Magnet)以增强磁场强度,可适用于铁磁性材料靶材。

  • 磁铁经过特殊处理并置于真空中,不会因冷却水而劣化。

  • 所有零部件及连接部分均采用焊接和钎焊结构,支持150℃烘烤,可用于超高真空环境。

主要规格

为提升性能,规格可能在无预告的情况下变更
构成
规格
磁铁
钕磁铁 / 镍涂层
靶材尺寸
φ1"、φ2"
烘烤
150℃
冷却方式
水冷(通过焊接或钎焊密封)
绝缘材料
氧化铝陶瓷(钎焊固定) 
安装法兰
ICF152 (屏蔽外径Φ70mm)
冷却流水量
2L / min 以上
可选项

射频(RF)电源:300W以上

直流(DC)电源:300W以上

快门:手动 / 自动


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【営業時間】平日 9:00~18:00
  • 年末年始の休業