UHV Gate Valve
特徴 | ・セラミックボールメカニズムによる低パーティクルを実現 ・リペアキット交換でメンテナンスが簡単 |
動作 | 手動 / 圧空 |
| フランジサイズ | 1.5" ～ 14" |
| フランジタイプ | CF |
| フィードスルー | 溶接ベローズ |
| ゲート部 シール | FKM Oリング / 他 材質に嵌めかえ可 |
| ボンネット シール | 銅ガスケット |
| 閉鎖時間 | ≤ 2sec |
| 圧力範囲 | 1x10-10 torr to 1.4 bar |
| ゲート部 差圧 | ≤ 1 bar |
| リークレート | ≺ 1x10-10 torr l/sec |
| ライフサイクル | 200,000 |
| 本体部 使用温度 | ≤ 200℃ |
| アクチュエーター 使用温度 | ≤ 80℃ |
| ベーキング温度 | ≤ 150℃ |
| 材質 | SUS304、 AL6061 アルマイト |
| 取付けポジション | どちらでも可 |
| 空気圧 (N2) | 4～7kgf/cm2 |
