UHV Gate Valve
특징 | ・세라믹볼 메카니즘으로 파티클이 적음 ・리페어키트 교환으로 멘터넌스가 간단 |
동작 | 수동 / 공압 |
| 플랜지 사이즈 | 1.5" ～ 14" |
| 플랜지 타입 | CF |
| 피드스루 | 용접 벨로즈 |
| 게이트부 씰 | FKM O링 / 그 외 재질도 가능 |
| 본넷 씰 | 메탈 가스켓 |
| 개폐시간 | ≤ 2sec |
| 압력범위 | 1x10-10 torr to 1.4 bar |
| 게이트부 차압 | ≤ 1 bar |
| leak rate | ≺ 1x10-10 torr l/sec |
| 라이프 사이클 | 200,000 |
| 본체부 사용온도 | ≤ 200℃ |
| 액츄에이터 사용온도 | ≤ 80℃ |
| 베이킹 온도 | ≤ 150℃ |
| 재질 | SUS304、 AL6061 아노다이징 |
| 설치방향 | any |
| 공기압 (N2) | 4～7kgf/cm2 |
