진공 부품 일람
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View Port Series
Technical Data.
UHV KODIAL | HV KODIAL | |
View Port Seal | Metal skirt | Metal skirt / O-ring seal |
Mounting seal | OFHC Gasket | Center Ring |
Operate Pressure range | 760 Torr ~ 1x10-10 Torr 1,000mbar ~ 1.33x10-10mbar 100 kPa ~1.13x10-11kPa | 760 Torr ~ 1x10-8 Torr 1,000mbar ~ 1.33x10-8mbar 100 kPa ~1.13x10-9kPa |
Leak rate | 1x10-10Tor l/s, He 1.33x10-10mbar l/s, He 1.13x10-11kPa l/s, He | 1x10-9Tor l/s, He 1.33x10-9mbar l/s, He 1.13x10-10kPa l/s, He |
Temperature range | -20℃ ~ 350℃ | -20℃ ~ 200℃ |
Bake temperature | 300℃ | 150℃ |
Maximum temperature change per minute | 3℃ | 3℃ |
Body material | SS304L | SS304L |
View port material | kodial | kodial |
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TEL.
03-3456-2577