기술 자료
ICF 뷰포트 (UHV) | |
뷰포트 씰링재 | 메탈 skirt |
뷰포트 연결 씰 | 무산소동 가스켓 |
압력범위 | 760 Torr ~ 1x10-10 Torr 1,000mbar ~ 1.33x10-10mbar 100 kPa ~1.13x10-11kPa |
leak rate | 1x10-10Tor l/s, He 1.33x10-10mbar l/s, He 1.13x10-11kPa l/s, He |
허용온도 | -20℃ ~ 350℃ |
베이킹온도 | 300℃ |
1분간 최대 온도변화 | 3℃ |
주요 플랜지 재질 | SS304L |
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ICF_ViewPort (245KB) |