특징 | ・모든 진공 프로세스・장비에서 사용가능 ・반영구 세라믹볼과 힌지식 스프링으로 구성 ・내구성이 높은 메카니즘을 실현 |
작동 | 공압식 |
플랜지 사이즈 | 1.5" ~ 10" |
플랜지 | 문의 해주세요 |
액츄에이터 | エアーシリンダー |
Close 시간 (레스폰스 타임) | ≤ 3sec |
Operate Leak rate | < 1 x 10 -10 mbar L/sec |
압력범위 | 1 x 10-8 mbar to 1200 mbar |
게이트부 차압 | ≤ 1200 mbar |
밸브 Open 시의 차압 | ≤ 30 mbar |
라이프 사이클 | 100,000 회 |
재질 | 본체 AL6061 메카니즘 AL6061 게이트부 FKM 진공씰링 FKM |
밸브 본체 사용온도 | ≤ 120℃ |
액츄에이터 사용온도 | ≤ 60℃ |
설치방향 | Any |
에어 압력범위 (N2) | 4~7 bar |