특징 | ・압력 컨트롤러를 필요로 하는 공정에 사용 ・콤팩트한 디자인 ・컨트롤러에 의한 High 퍼포먼스 실현 ・리페어 키트 교환으로 멘터넌스가 간단 |
작동 | 공압식 |
플랜지 사이즈 (ID) mm | DN 40 DN 50 |
피드스루 | Rotary feed through |
액츄에이터 | 스텝퍼 모터 |
He Leak rate | < 1 X 10-9 mbar L/sec |
레스폰스 타임 | ≤ 2 sec |
압력범위 | 1 x 10-8 mbar to 1.2 bar |
밸브 Open 시의 차압 | ≤ 30 mbar |
게이트부에 걸리는 차압 | ≤ 1.4 bar |
라이프사이클 | 250,000회 |
온도 | 밸브 본체 ≤150 ℃ 컨트롤러 ≤ 35 ℃ |
재질 | 본체 SUS304 메카니즘 SUS304 게이트부 씰링 FKM |
설치방향 | Any |
에어 압력범위 (N2) | 4~7 bar |