특징 | ・세라믹 볼 베어링으로 파티클을 저감 ・기존 Large 밸브에 비해 컴팩트한 디자인 |
작동 | 공압식 |
플랜지 사이즈 | 16"~30" |
플랜지 | ISO / JIS / ASA |
피드스루 | FKM / Kalrez / EPDM 외 O링 재질 변경 가능 |
게이트부 씰링 | FKM / Kalrez / EPDM 외 O링 재질 변경 가능 |
본넷부 씰링 | FKM / Kalrez / EPDM 외 O링 재질 변경 가능 |
레스폰스타임 | 조정가능 |
압력범위 | 1 X 10-8 mbar to 1000 mbar |
밸브 Open 시 차압 | ≤ 30 mbar |
게이트부에 걸리는 차압 | ≤ 1000 mbar |
Leak rate | < 1 x 10 -9 mbar L/sec |
라이프 사이클 | 10,000~100,000 |
밸브 본체 사용온도 | ≤ 150℃ |
액츄에이터 사용온도 | ≤ 80℃ |
베이킹 온도 | ≤ 150℃ |
재질 | SUS304 AL6061아노다이징 |
설치방향 | Any |
에어 압력범위 (N2) | 6 ~ 8 bar |