PFEIFFER VACUUM사 신형 스크롤 펌프의 특징
・업계 Top level 의 기초 성능 :
배기성능이 매우 우수
・ 심플한 진공배기시스템을 구현 :
동사 터보분자펌프(HiPace) 와 조합하여 사용 가능
・ world wide 한 서비스
일본 국내에 테크니컬 센터를 가지며 수리/멘터넌스 등 신속한 대응이 가능
DUO 시리즈
| 기종 | 배기속도:50Hz l/min (m3/h) | 배기속도:60Hz l/min (m3/h) | 흡기/배기 플랜지 | 도달진공도(Pa) | 모터 | 내부식기종 |
| DUO1.6/1.6M | 21(1.25) | 25(1.5) | NW16 | 3.0×10-1 | 단상 AC100V | 없음 |
| DUO3/３M | 42(2.5) | 49(2.9) | ||||
| DUO6/６M | 84(5) | 100(6) | ||||
| DUO11/11M | 150(9) | 170(10.5) | ||||
| DUO20M | 344(20) | 400(24) | NW25 | 2.0×10-1 | 삼상 AC200V | 있음 |
| DUO35/35M | 534(32) | 600(36) | NW40 | 2.0×10-1 | ||
| DUO65/65M | 1,034(62) | 1,167(70) | ||||
| DUO125/125M | 1,917(115) | 2,250(135) | ISO63 | 없음 | ||
| DUO255/255M | 4,167(250) | 5,000(300) | ISO100 | 3.0×10-1 |
상세 사양에 대해서는 별도 문의 부탁드립니다
표준형 로터리펌프 SD 시리즈 / I 시리즈 Pascal / 더블스테이지 (2단식)
SD 시리즈
SD 시리즈
・ 대기 / 희소 가스용
・ 조질펌프
・ 보조펌프
| 기종 | 배기속도 50hz l/min (m3/h) | 배기속도 60hz l/min (m3/h) | 흡기/배기 플랜지 | 도달진공도(Pa) |
| 2005SD | 83(5.0) | 100(6.0) | NW25 | 5.0×10-2 |
| 2010SD | 150(9.0) | 175(10.5) | ||
| 2015SD | 233(14.0) | 275(16.5) | ||
| 2021SD | 300(18.0) | 367(22.0) |
모터 및 전압 (단상 AC100V 또는 삼상 AC200V) 을 지정 해 주시길 바랍니다
I 시리즈
I 시리즈
질량분석계나 전자현미경의 등의 진공흡입에 사용
| 기종 | 배기속도 50hz l/min (m3/h) | 배기속도 60hz l/min (m3/h) | 흡기/배기 플랜지 | 도달진공도(Pa) |
| 2005I | 83(5.0) | 100(6.0) | NW25 | 5.0×10-2 |
| 2010I | 150(9.0) | 175(10.5) | ||
| 2015I | 233(14.0) | 275(16.5) | ||
| 2021I | 300(18.0) | 367(22.0) |
모터 및 전압 (단상 AC100V 또는 삼상 AC200V) 을 지정 해 주시길 바랍니다
내부식성 로터리펌프 C1 시리즈 / C2 시리즈 Pascal / 더블 스테이지 (2단식)
C1 시리즈
C1 시리즈
・ 연구기관
・ 진공기술을 사용하는 실험
・ 동결건조
・ 용제배기
| 기종 | 배기속도 50hz l/min (m3/h) | 배기속도 60hz l/min (m3/h) | 흡기/배기 플랜지 | 도달진공도(Pa) |
| 2005C1 | 83(5.0) | 100(6.0) | NW25 | 5.0×10-2 |
| 2010C1 | 150(9.0) | 175(10.5) | ||
| 2015C1 | 233(14.0) | 275(16.5) | ||
| 2021C1 | 300(18.0) | 367(22.0) |
모터 및 전압 (단상 AC100V 또는 삼상 AC200V) 을 지정 해 주시길 바랍니다
C2 시리즈
C1 시리즈
・ 연구기관
・ 진공기술을 사용하는 실험
・ 동결건조
・ 용제배기
| 기종 | 배기속도 50hz l/min (m3/h) | 배기속도 60hz l/min (m3/h) | 흡기/배기 플랜지 | 도달진공도(Pa) |
| 2005C2 | 83(5.0) | 100(6.0) | NW25 | 5.0×10-2 |
| 2010C2 | 150(9.0) | 175(10.5) | ||
| 2015C2 | 233(14.0) | 275(16.5) | ||
| 2021C2 | 300(18.0) | 367(22.0) |
모터 및 전압 (단상 AC100V 또는 삼상 AC200V) 을 지정 해 주시길 바랍니다
