특징 | ・세라믹볼 메카니즘으로 파티클이 적음 ・리페어키트 교환으로 멘터넌스가 간단 |
동작 | 수동 / 공압 |
플랜지 사이즈 | 1.5" ~ 14" |
플랜지 타입 | ISO / JIS / ASA / CF |
피드스루 | 용접 벨로즈 |
게이트부 씰 | FKM O링 / 그 외 재질도 가능 |
본넷 씰 | 메탈 가스켓 |
개폐시간 | ≤ 2sec |
압력범위 | 1.5"~6":1x10-10 mbar to 1400 mbar 8"~14":1x10-10 mbar to 1200 mbar |
게이트부 차압 | 1.5" ~ 6" :≤ 1400 mbar 8" ~ 14":≤ 1200 mbar |
leak rate | ≺ 1x10-10 mbar l/sec |
라이프 사이클 | 250,000 |
본체부 사용온도 | ≤ 200℃ |
액츄에이터 사용온도 | ≤ 80℃ |
베이킹 온도 | ≤ 150℃ |
재질 | 본체 (SUS304, SUS316L) 액츄에이터 (AL6061 アルマイト) |
설치방향 | any |
공기압 (N2) | 4~7kgf/cm2 |