特徴 | 各種機能取り付けが可能: ・電磁弁付 & Positionセンサ(15pin D-Sub)で接続 ・リミットスイッチ ・アングルバルブ ・ロック機能 ・スピードコントローラー&電磁弁 (2 Port+N2 Port)は ステンレスチューブで接続 (φ6) |
動作 | 圧空式 |
フランジサイズ | 4" ~ 8" |
フランジ | ISO, JIS, ASA, CF |
フィードスルー | 溶接ベローズ |
ゲート部シール | FKM / Kalrez / EPDM 他Oリング材質に変更可 |
ボンネット部シール | FKM / Kalrez / EPDM 他Oリング材質に変更可 |
レスポンスタイム | ≤ 0.3~2 sec |
圧力単位 | 4"~6":1 x 10-10 mbar to 1400 mbar 8":1 x 10-10 mbar to 1200 mbar |
バルブを開けるときの差圧 | ≤ 30 mbar |
ゲートにかけ得る差圧 | 4"~6": 1400 mbar 8": 1200 mbar |
リークレート | < 1 X 10 -10 mbar L/sec |
ライフサイクル | 250,000 回 |
バルブ本体 使用温度 | ≤ 200℃ |
アクチュエーター 使用温度 | ≤ 60℃ |
ベーキング温度 | ≤ 150℃ |
材質 | 本体 (SUS304) アクチュエーター (AL6061 アルマイト) |
取付方向 | 自在 |
エアー圧力範囲 (N2) | 4~7 bar |
Special Gate Valve サイズ&図面
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