Viewport の紹介
真空ビューポートは主に
・大気側からチャンバー内部のプロセス観察窓
・大気側からチャンバー内へレーザーなどのビーム照射
(光学材料) 等に使用されます。
(光学材料) 等に使用されます。
主な取り扱い窓材
・コバール (Kodial)
・サファイア
・溶融石英 (Fused Silica) 他
(「溶融石英」については、透過率グラフ横の説明欄を
参照ください)
(「溶融石英」については、透過率グラフ横の説明欄を
参照ください)
Viewport の使用例
コバール (Kodial) の透過率グラフ
透過率グラフをクリックすると拡大できます
サファイア の透過率グラフ
透過率グラフをクリックすると拡大できます
溶融石英 (Fused Silica) の透過率グラフ
透過率グラフをクリックすると拡大できます
溶融石英とは？
溶融石英は溶融シリカ、シリカガラスとも呼ばれます。
石英 (SiO2) から作成されるもので、SiO2純度が高いものを言います。
水晶の粉末を溶かしてガラス状にしたもので、物理的性質は等方性の材料で以下の利点/用途を有します。
利点
・熱衝撃に対する安定性
・低い熱膨張率
・高いレーザー損傷しきい値
・UV (紫外線) からIR (赤外線) 領域での優れ
た透過性
・UV (紫外線) からIR (赤外線) 領域での優れ
た透過性
主な用途
・ビーカーやフラスコなどの理化学用途
・ビーカーやフラスコなどの理化学用途
・観察窓用の材料
・レンズ/ミラー基板
・レンズ/ミラー基板
・光ファイバー材料 など
Viewport Series
Kodial ビューポート Technical Data.
UHV | HV | |
| ビューポートのシール材 | メタル skirt | メタルskirt または Oリングseal |
| ビューポートの取り付け材 | 無酸素銅ガスケット | Oリング |
| 圧力範囲 | 760 Torr ~ 1x10-10 Torr 1,000mbar ~ 1.33x10-10mbar 100 kPa ~1.13x10-11kPa | 760 Torr ~ 1x10-8 Torr 1,000mbar ~ 1.33x10-8mbar 100 kPa ~1.13x10-9kPa |
| リークレート | 1x10-10Tor l/s, He 1.33x10-10mbar l/s, He 1.13x10-11kPa l/s, He | 1x10-9Tor l/s, He 1.33x10-9mbar l/s, He 1.13x10-10kPa l/s, He |
| 許容温度 | -20℃ ～ 350℃ | -20℃ ～ 200℃ |
| ベーキング温度 | 300℃ | 150℃ |
| 1分間あたりの最大温度変化 | 3℃ | 3℃ |
| 主なフランジ材 | SUS304L | SUS304L |
Sapphire および Fused Silica ビューポート Technical Data.
Sapphire | Fused Silica | |
| ビューポートのシール材 | メタル skirt | メタルskirt |
| ビューポートの取り付け材 | 無酸素銅ガスケット | 無酸素銅ガスケット |
| 圧力範囲 | 760 Torr ~ 1x10-10 Torr 1,000mbar ~ 1.33x10-10mbar 100 kPa ~1.13x10-9kPa | 760 Torr ~ 1x10-10 Torr 1,000mbar ~ 1.33x10-10mbar 100 kPa ~1.13x10-9kPa |
| リークレート | 1x10-10Tor l/s, He 1.33x10-10mbar l/s, He 1.13x10-9kPa l/s, He | 1x10-10Tor l/s, He 1.33x10-10mbar l/s, He 1.13x10-9kPa l/s, He |
| 許容温度 | -20℃ ～ 200℃ | -20℃ ～ 200℃ |
| ベーキング温度 | 150℃ | 150℃ |
| 1分間あたりの最大温度変化 | 3℃ | 3℃ |
| 主なフランジ材 | SUS304L | SUS304L |
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TEL.
03-3456-2577