Viewport の紹介
真空ビューポートは主に
・大気側からチャンバー内部のプロセス観察窓
・大気側からチャンバー内へレーザーなどのビーム照射
(光学材料) 等に使用されます。
(光学材料) 等に使用されます。
主な取り扱い窓材
・コバール (Kodial)
・サファイア
・溶融石英 (Fused Silica) 他
(「溶融石英」については、透過率グラフ横の説明欄を
参照ください)
(「溶融石英」については、透過率グラフ横の説明欄を
参照ください)
Viewport の使用例
コバール (Kodial) の透過率グラフ
透過率グラフをクリックすると拡大できます
サファイア の透過率グラフ
透過率グラフをクリックすると拡大できます
溶融石英 (Fused Silica) の透過率グラフ
透過率グラフをクリックすると拡大できます
溶融石英とは？
溶融石英は溶融シリカ、シリカガラスとも呼ばれます。
石英 (SiO2) から作成されるもので、SiO2純度が高いものを言います。
水晶の粉末を溶かしてガラス状にしたもので、物理的性質は等方性の材料で以下の利点/用途を有します。
利点
・熱衝撃に対する安定性
・低い熱膨張率
・高いレーザー損傷しきい値
・UV (紫外線) からIR (赤外線) 領域での優れ
た透過性
・UV (紫外線) からIR (赤外線) 領域での優れ
た透過性
主な用途
・ビーカーやフラスコなどの理化学用途
・ビーカーやフラスコなどの理化学用途
・観察窓用の材料
・レンズ/ミラー基板
・レンズ/ミラー基板
・光ファイバー材料 など
Viewport Series
Kodial ビューポート テクニカルデータ
UHV (ICFフランジ) | HV (NWフランジ, ISOフランジ) | |
| ビューポートのシール方法 | メタル | メタル |
| 圧力範囲 | 1bar ~ 1x10-11mbar | 1bar ~ 1x10-11mbar |
| リークレート | < 1x10-10 atm-ccs/sec (He) | < 1x10-10 atm-ccs/sec (He) |
| 許容温度 | -20℃ ～ 350℃ | -20℃ ～ 150℃ |
| ベーキング温度 | 300℃ | 150℃ |
| 1分間あたりの最大温度変化 | 3℃ | 3℃ |
| 主なフランジ材 | 304L | NW:304L ISO:316L |
お気軽にお問い合わせください
TEL.
03-3456-2577