寸法表
フランジ | 製品コード | A | D1 | D2 | D3 |
ICF34 | ICF34-VK | 12.7 | 34 | 18 | 16 |
ICF70 | ICF70-VK | 12.7 | 70 | 38 | 39 |
ICF114 | ICF114-VK | 17.4 | 114 | 72 | 63 |
ICF152 | ICF152-VK | 19.9 | 152 | 106 | 89 |
ICF203 | ICF203-VK | 22.3 | 203 | 156 | 136 |
ICF253 | ICF253-VK | 24.6 | 254 | 156 | 136 |
テクニカルデータ
ICF ビューポート (UHV) | |
ビューポートのシール材 | メタル |
ビューポートの取り付け材 | 無酸素銅ガスケット |
圧力範囲 | 1bar ~ 1x10-11mbar |
リークレート | < 1x10-10atm-cc/sec (He) |
許容温度 | -20℃ ~ 350℃ |
ベーキング温度 | 350℃ |
1分間あたりの最大温度変化 | 3℃ |
主なフランジ材 | 304L |
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