トランスファーロッドとは
トランスファーロッドは主に試料搬送に使用する導入機です。
磁気結合の原理を活かし回転しながらの運動と直進での移動を同時に行えます。高真空以上のチャンバー内での試料搬送には不可欠な製品です。
磁気結合の原理を活かし回転しながらの運動と直進での移動を同時に行えます。高真空以上のチャンバー内での試料搬送には不可欠な製品です。
お客様の仕様に応じての設計製造も可能です。
仕様表 ~外形寸法は別途お問い合わせください~
品名 | ICF70 トランスファーロッド |
駆動伝達方式 | 磁気結合型 |
直進伝達力 | 4.5kg |
回転伝達力 | 7.5kgf・cm |
移動量 (ストローク) | 250mm~1000mm (ご指定ください) |
駆動軸径 / 材質 | Φ13.8 / SUS |
接続フランジ | ICF70 |
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TEL.
03-3456-2577