高純度ガス用フィルターとは
ステンレス製とPTFE製ございます (画像はステンレス製SS-Aシリーズ)
本製品は主に、半導体製造プロセス向けに開発された高純度ガス用フィルターです。
特徴
・高い除粒子効果およびろ過精度
・耐圧性および耐腐食性に優れています
・優れたガス置換特性
・100% Heリーク試験済 (1.0 x 10 -9 atm cc/sec)
・100% パーティクル試験済 (0.0025μm以上未検出)
・クラス100クリーンルームで製造・試験・梱包
【共通仕様 】
粒子補足率 99.9999999%
ろ過精度 0.0025μm
ハウジング材質 SUS316 ハステロイC-22
内面仕上げ ≦Ra 5μinch (≒0.127μM)
他社製品ご購入のユーザー様でお困りごとはございませんか？
・少しでも早く入手したい
・価格面の見直し検討している
・現行の型式製品同等で見積ってほしい 等々
弊社ではこうしたお客様の声に応えており、
納入実績も豊富です。
納入実績も豊富です。
オール316Lステンレス製 ガスフィルター (エレメント金属焼結タイプ)
PTFE ガスフィルター ～ 耐腐食性ガスおよび半導体プロセスガスに対し優れた適合性～
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03-3456-2577