同軸２軸型回転導入機　技術仕様

同軸２軸型回転導入機

真空シール方式	隔壁駆動伝達方式
駆動方式	マグトラン式
許容真空圧力	10-6Pa
リーク量	最大 1.3 x 10Pa m3/sec
フランジサイズおよび フランジOリング	φ160 Oリングシール
伝達トルク	2.74N・m (28kgf・cm)    マグトランタイプ回転導入機 9.8N・m (100kgf・cm)    同軸フランジ
許容回転数	500rpm
許容加熱温度	最大120℃
質量	-