Technical Data
ICF ビューポート (UHV) | |
ビューポートのシール材 | メタル skirt |
ビューポートの取り付け材 | 無酸素銅ガスケット |
圧力範囲 | 760 Torr ~ 1x10-10 Torr 1,000mbar ~ 1.33x10-10mbar 100 kPa ~1.13x10-11kPa |
リークレート | 1x10-10Tor l/s, He 1.33x10-10mbar l/s, He 1.13x10-11kPa l/s, He |
許容温度 | -20℃ ~ 350℃ |
ベーキング温度 | 300℃ |
1分間あたりの最大温度変化 | 3℃ |
主なフランジ材 | SS304L |
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ICF_ViewPort (245KB) |
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