Technical Data.
ISOビューポート溶接タイプ (HV) |
ビューポートのシール材 | メタル skirt |
ビューポートの取り付け材 | センタリング付きOリング |
圧力範囲 | 760 Torr~1x10-8 Torr 1,000mbar~1.33x10-8mbar 100kPa~1.13x10-9kPa |
リークレート | 1x10-9Torr l/s, He 1.33x10-9mbar l/s, He 1.13x10-10kPa l/s, He |
許容温度 | -20℃~200℃ |
ベーキング温度 | 150℃ |
1分間あたりの最大温度変化 | 3℃ |
主なフランジ材質 | SS304L |
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ISO-K_ViewPort (269KB) |
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