スパッタガンについて
画像は2"マグネトロンスパッタガン (画像をクリックすると拡大できます)
本製品は磁石にネオジマグネットを用い すべて溶接・ろう付け構造となっているため超高真空対応が 可能なスパッタガンです。
【特徴】
- 磁石にネオジマグネットを用い、磁場強度を強くしており磁性体ターゲットにも対応可能です。
- マグネットは特殊処理され真空中に配置してあり冷却水による劣化がありません。
- すべての部品及び接続部を溶接・ろう付けしておりベーキング 150℃ が可能で超高真空にも対応が可能です。
主な仕様
性能向上のため予告なく仕様を変更することがあります
構成 | 仕様 |
磁石 | ネオジ / Niコート |
ターゲットサイズ | φ1"、φ2" |
ベーキング | 150℃ |
冷却 | 水冷：溶接・ろう付けにて封じております |
絶縁 | アルミナセラミック：ろう付け |
取付フランジ | ICF152 (シールド外径Φ70mm) |
冷却水量 | 2L / min 以上 |
オプション | RF電源 300W以上 DC電源 300W以上 シャッター 手動 / 自動 |
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TEL.
03-3456-2577