特徴 | ・セラミックボールメカニズムによる低パーティクルを実現 ・リペアキット交換でメンテナンスが簡単 |
動作 | 手動式 / 圧空式 |
フランジサイズ | 1.5" ~ 14" |
フランジタイプ | ISO / JIS / ASA / CF |
フィードスルー | 溶接ベローズ |
ゲート部 シール | FKM / Kalrez / EPDM Oリング材質に変更可 |
ボンネット部 シール | FKM Oリング |
閉鎖時間 (レスポンスタイム) | ≤ 2sec |
圧力範囲 | 1.5"~6":1x10-10 mbar to 1400 mbar 8"~14":1x10-10 mbar to 1200 mbar |
ゲートにかけ得る差圧 | 1.5" ~ 6" :≤ 1400 mbar 8" ~ 14":≤ 1200 mbar |
リークレート | ≺ 1x10-10 mbar L/sec |
ライフサイクル | 250,000 回 |
バルブ本体 使用温度 | ≤ 200℃ |
アクチュエーター 使用温度 | ≤ 80℃ |
ベーキング温度 | ≤ 150℃ |
材質 | 本体 (SUS304, SUS316L) アクチュエーター (AL6061 アルマイト) |
取付ポジション | 自在 |
エアー圧力範囲 (N2) | 4~7 bar |
Gate Valve サイズ & 図面
JIS 規格 手動式
JIS 規格 圧空式
CF 規格 手動式
CF 規格 圧空式
ISO 規格 手動式
ISO 規格 圧空式
NW 規格 手動式
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